0515-83835888
Trang chủ / Các sản phẩm / Sản xuất chuyên nghiệp các thiết bị phủ ion chân không PVD / Dây chuyền sản xuất lớp phủ của Magnetron Sputtering

Dây chuyền sản xuất lớp phủ của Magnetron Sputtering

Tổng quan về dây chuyền sản xuất của Magnetron Magnetron Sputtering

Lớp phủ phun từ tính liên tục là một công nghệ lắng đọng màng mỏng tiên tiến sử dụng từ trường để kiểm soát quỹ đạo chuyển động của các chùm ion trong môi trường áp suất thấp, đạt được độ bám dính vào bề mặt vật liệu, do đó tạo thành một lớp màng mỏng đồng nhất, dày đặc và được xử lý tốt. Công nghệ này không chỉ có thể cải thiện độ cứng, khả năng chống mài mòn và khả năng chống ăn mòn vật liệu mà còn thay đổi quang học của chúng,
Tính chất điện và nhiệt để đáp ứng nhu cầu của các trường khác nhau.

Nguyên tắc làm việc

Nguyên tắc làm việc của lớp phủ phóng xạ từ tính liên tục là giới thiệu một từ trường trên bề mặt của cực âm đích và sử dụng từ trường để hạn chế các hạt tích điện để tăng mật độ plasma, do đó làm tăng tốc độ phun. Các ion argon được tăng tốc bởi cực âm và bắn phá bề mặt của mục tiêu catốt, phun các nguyên tử từ bề mặt mục tiêu và lắng đọng chúng trên bề mặt chất nền để tạo thành một màng mỏng. Bằng cách thay đổi mục tiêu của các vật liệu khác nhau và kiểm soát thời gian phun khác nhau, có thể thu được các màng mỏng của các vật liệu và độ dày khác nhau.

Lợi thế kỹ thuật

Tỷ lệ lắng đọng cao: Do việc sử dụng các điện cực từ tính, có thể thu được dòng ion bắn phá mục tiêu rất lớn, dẫn đến tốc độ khắc cường độ cao trên bề mặt mục tiêu và tốc độ lắng đọng màng cao trên bề mặt chất nền.
● Hiệu suất công suất cao: Xác suất va chạm giữa các electron năng lượng thấp và các nguyên tử khí cao, dẫn đến sự gia tăng đáng kể về tốc độ ion hóa khí. Tương ứng, trở kháng của khí thải (hoặc huyết tương) giảm đáng kể. Do đó, so với tốc độ diode DC, ngay cả khi áp suất làm việc giảm từ 1-10Pa xuống còn 10-2- 10-1PA, điện áp phun cũng giảm từ vài nghìn volt xuống vài trăm volt, và hiệu quả tăng tốc và tăng tốc độ lắng đọng theo đơn đặt hàng.
Năng lượng thấp: Do điện áp catốt thấp được áp dụng cho mục tiêu, plasma được giới hạn bởi từ trường trong không gian gần cực âm, do đó ngăn chặn tỷ lệ mắc các hạt tích điện năng lượng cao ở một bên của chất nền. Do đó, mức độ thiệt hại gây ra cho các chất nền như thiết bị bán dẫn bằng cách bắn phá hạt tích điện thấp hơn các phương pháp phun khác.
Khả năng ứng dụng vật liệu rộng: Tất cả các kim loại, hợp kim và vật liệu gốm có thể được chế tạo thành vật liệu đích; Bằng cách sử dụng dòng điện trực tiếp hoặc tần số vô tuyến, lớp phủ kim loại tinh khiết hoặc hợp kim với tỷ lệ chính xác và không đổi, cũng như các màng phản ứng kim loại với sự tham gia của khí, có thể được tạo ra để đáp ứng các yêu cầu của các màng mỏng có độ chính xác cao và đa dạng.

Khu vực ứng dụng

Công nghệ phủ đa năng từ liên tục được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp điện tử và thông tin, như mạch tích hợp, lưu trữ thông tin, màn hình tinh thể lỏng, bộ nhớ laser, thiết bị điều khiển điện tử, v.v. Nó cũng có thể được áp dụng trong lĩnh vực lớp phủ thủy tinh; Nó cũng có thể được áp dụng cho các ngành công nghiệp như vật liệu chống hao mòn, khả năng chống ăn mòn nhiệt độ cao và các sản phẩm trang trí cao cấp.

Tham số sản phẩm

Công nghệ lớp phủ đa năng liên tục đóng một vai trò quan trọng trong ngành công nghiệp hiện đại do hiệu quả, tính đồng nhất và khả năng kiểm soát cao. Với sự tiến bộ của công nghệ, công nghệ này sẽ tiếp tục thúc đẩy sự phát triển của các vật liệu và sản phẩm mới, mang lại nhiều cơ hội đổi mới và phát triển cho các ngành công nghiệp khác nhau.

KOTA Technology Limited Company

Về chúng tôi

KOTA Technology Limited Company được thành lập vào năm 2012, với số vốn đã đăng ký là 10 triệu nhân dân tệ, là một doanh nghiệp công nghệ cao quốc gia.
Có trụ sở tại Thượng Hải, Trung Quốc, công ty có một số công ty con thuộc sở hữu và nắm giữ ở Nantong, Yancheng và các nơi khác ở tỉnh Giang Tô, và đã thành lập các trung tâm R & D ở Trung Quốc và Nhật Bản để bố trí thị trường toàn cầu. Hiện tại, công ty đã phát triển thành một nhà sản xuất thiết bị thông minh năng lượng mới nổi tiếng trong nước, và là một doanh nghiệp trong lĩnh vực thiết bị lá đồng lithium trong nước. Đội ngũ kỹ thuật cốt lõi của công ty do ông Matsuda Mitsuya dẫn đầu tại Nagoya, Nhật Bản, tập trung vào sự phát triển và tích hợp hệ thống tự động hóa và thiết bị sản xuất cao cấp trong lĩnh vực thiết bị điện cơ chính xác cao. Thông qua việc giới thiệu các khái niệm thiết kế và công nghệ tiên tiến của Nhật Bản và nhập khẩu các bộ phận chính xác gốc từ Nhật Bản, các sản phẩm thiết bị khác nhau do công ty sản xuất đã trở thành điểm chuẩn công nghiệp.

Tôn kính

  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế
  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế
  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế
  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế
  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế
  • tôn kính
    Giấy chứng nhận bằng sáng chế

Tin tức

Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ

Kiến thức công nghiệp

1. Lớp phủ phun từ tính liên tục là gì và nó hoạt động như thế nào?
Dây chuyền sản xuất lớp phủ của Magnetron Sputtering là một kỹ thuật lắng đọng màng mỏng và cao chính xác cao được sử dụng để tăng cường tính chất vật liệu. Nó hoạt động bằng cách giới thiệu một từ trường trên bề mặt của cực âm mục tiêu, hướng dẫn chuyển động của các ion trong môi trường áp suất thấp. Điều này dẫn đến một quá trình phóng xạ trong đó các nguyên tử từ mục tiêu bị đẩy ra bằng cách bắn phá chúng bằng các ion argon được tăng tốc và sau đó được lắng đọng trên chất nền. Lớp màng mỏng này có thể được tùy chỉnh để đáp ứng độ dày và thông số kỹ thuật vật liệu cần thiết bằng cách thay đổi thời gian phun và sử dụng các vật liệu mục tiêu khác nhau.
Tại Hongtian Technology Co., Ltd., chúng tôi hiểu tầm quan trọng của các công nghệ sản xuất tiên tiến như lớp phủ phun từ Magnetron liên tục trong ngành công nghiệp hiện đại. Là một công ty chuyên về các thiết bị và giải pháp cơ điện tiên tiến, chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao tận dụng các công nghệ mới nhất. Khả năng sản xuất nâng cao của chúng tôi bao gồm một hội thảo và kho sản xuất được trang bị đầy đủ, đảm bảo rằng các sản phẩm của chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu quả. Công viên thiết bị lá điện cao cấp mới của chúng tôi, nằm ở Yancheng, tỉnh Giang Tô, là một phần trong nỗ lực liên tục của chúng tôi để tăng cường các dịch vụ công nghệ của chúng tôi. Cơ sở này sẽ cho phép chúng tôi tích hợp hơn nữa các công nghệ lớp phủ nâng cao, bao gồm cả phép thuật Magnetron, vào việc phát triển các vật liệu thế hệ tiếp theo và thiết bị thông minh cho các ngành công nghiệp năng lượng và điện tử.
Nguyên tắc làm việc của đường phun từ tính liên quan đến việc kiểm soát mật độ plasma và ion một cách hiệu quả cao. Các ion tăng tốc từ catốt tấn công vật liệu mục tiêu, khiến các nguyên tử mục tiêu bị đẩy ra và sau đó lắng đọng trên bề mặt chất nền. Tính đồng nhất và mật độ của lớp màng mỏng được hình thành là các thuộc tính chính của quá trình này, làm cho nó trở nên lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi các tính chất vật liệu nhất quán, chẳng hạn như khả năng chống mài mòn, khả năng chống ăn mòn và các đặc tính quang học hoặc điện tăng cường. Tính linh hoạt này cho phép các lớp phủ được áp dụng cho một loạt các chất nền, cung cấp tùy chỉnh và độ chính xác trong các ngành công nghiệp như thiết bị điện tử, ô tô và năng lượng.

2. Ưu điểm kỹ thuật chính của việc phun từ tính liên tục là gì?
Việc sử dụng các điện cực từ tính tạo ra một dòng bắn phá ion lớn, dẫn đến quá trình phun tăng tốc và tốc độ lắng đọng cao hơn. Điều này đặc biệt có lợi trong môi trường sản xuất quy mô lớn, nơi hiệu quả và tốc độ là rất quan trọng.
Ghippution Magnetron cung cấp hiệu quả công suất cao. Sự va chạm của các electron năng lượng thấp với các nguyên tử khí dẫn đến tốc độ ion hóa khí cao hơn, từ đó làm giảm trở kháng của plasma phóng điện. Việc giảm trở kháng này có nghĩa là quá trình phun hoạt động ở điện áp và áp suất thấp hơn, dẫn đến hiệu quả được cải thiện và giảm tiêu thụ năng lượng. Tại Hongtian Technology Co., Ltd., chúng tôi rất chú trọng đến hiệu quả năng lượng vì nó ảnh hưởng trực tiếp đến cả chi phí sản xuất và tính bền vững. Đầu tư liên tục của chúng tôi vào các cơ sở sản xuất hiện đại, chẳng hạn như Công viên Thiết bị cao cấp mới của chúng tôi ở Giang Tô, giúp chúng tôi tối ưu hóa hơn nữa việc sử dụng năng lượng và cải thiện hiệu suất của thiết bị chúng tôi cung cấp cho khách hàng trên toàn thế giới.
Một lợi thế quan trọng khác là tốc độ năng lượng thấp, dẫn đến quá trình lắng đọng được kiểm soát nhiều hơn. Từ trường giới hạn plasma gần cực âm, làm giảm sự bắn phá các hạt năng lượng cao trên đế. Đặc điểm này đặc biệt quan trọng khi làm việc với các vật liệu nhạy cảm như chất bán dẫn, trong đó phơi nhiễm hạt năng lượng cao có thể gây ra thiệt hại. Là một công ty cam kết cung cấp các giải pháp hiệu suất cao, tùy chỉnh cho các ngành công nghiệp từ thiết bị điện tử đến ô tô, Công ty TNHH Công nghệ Hongtian, Ltd. tích hợp các công nghệ như Magnetron đang chuyển sang các dịch vụ sản phẩm của chúng tôi để đảm bảo rằng chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng cao nhất trong khi giảm thiểu rủi ro để giải quyết các vật liệu.
Khả năng ứng dụng vật liệu rộng là một lý do khác để áp dụng rộng rãi các đường phun từ liên tục. Quá trình này đủ linh hoạt để chứa các vật liệu mục tiêu khác nhau, bao gồm kim loại, hợp kim và gốm sứ. Tính linh hoạt này cho phép sản xuất các màng mỏng với các đặc tính cụ thể, bao gồm lớp phủ kim loại, màng hợp kim và màng phản ứng, rất quan trọng đối với các ngành công nghiệp yêu cầu lớp phủ chính xác cao, như hàng không vũ trụ, ô tô và viễn thông.

3. Các ứng dụng chính của lớp phủ phun từ tính liên tục là gì?
Các ứng dụng của lớp phủ cường độ từ tính liên tục rất rộng lớn và đa dạng, trải dài trên nhiều ngành công nghiệp. Một trong những lĩnh vực nổi bật nhất là ngành công nghiệp điện tử và thông tin, nơi công nghệ này được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các bộ phận như mạch tích hợp, chất bán dẫn và thiết bị lưu trữ thông tin. Trong các ứng dụng này, khả năng tạo ra các màng mỏng có tính chất điện và quang học được điều chỉnh là rất quan trọng. Phá phun từ tính cho phép kiểm soát chính xác độ dày màng và thành phần vật liệu, làm cho nó trở nên lý tưởng để tạo ra các lớp phủ với độ dẫn cụ thể, độ trong suốt hoặc tính chất phản xạ.
Tại Hongtian Technology Co., Ltd., chúng tôi nhận ra tầm quan trọng của sự đổi mới liên tục trong các lĩnh vực như thiết bị điện tử. Khả năng sản xuất của chúng tôi, bao gồm Công viên Thiết bị cao cấp mới ở Jiangsu, sẽ cho phép chúng tôi tiếp tục thúc đẩy sự đổi mới trong các lĩnh vực như sản xuất điện tử, nơi tùy biến độ chính xác và vật liệu là tối quan trọng. Chúng tôi dành riêng để phát triển các giải pháp tiên tiến tích hợp các công nghệ mới nhất, bao gồm cả phép thuật Magnetron, để cung cấp cho khách hàng của chúng tôi các sản phẩm chất lượng cao đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng hiện đại.
Một ứng dụng quan trọng khác là lớp phủ thủy tinh, đặc biệt đối với kiến ​​trúc và kính ô tô. Các màng mỏng được tạo ra thông qua cường độ từ tính có thể cải thiện độ bền, chức năng và sự xuất hiện của bề mặt thủy tinh. Điều này bao gồm lớp phủ chống phản chiếu, bảo vệ UV và các lớp cách nhiệt. Những lớp phủ này không chỉ tăng cường sức hấp dẫn thẩm mỹ mà còn góp phần vào hiệu quả năng lượng bằng cách giảm hấp thụ nhiệt và cải thiện sức mạnh của kính.
Ngoài các thiết bị điện tử và lớp phủ thủy tinh, phép thuật Magnetron cũng được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực vật liệu chống hao mòn. Công nghệ này cho phép tạo ra các lớp phủ cứng, bền, cải thiện khả năng chống mài mòn của các bộ phận tiếp xúc với ma sát cao, như các bộ phận ô tô, máy móc công nghiệp và các công cụ cắt. Độ bền bám dính cao của các màng mỏng được tạo ra thông qua phép thuật từ tính đảm bảo rằng các lớp phủ này vẫn còn nguyên vẹn trong điều kiện hoạt động đòi hỏi, do đó kéo dài tuổi thọ của các thành phần.