E-mail: web@kota.sh.cn
Điện thoại: 0515-83835888
Nguyên tắc làm việc của máy phủ chân không phun từ tính
Nguyên tắc làm việc của máy phủ chân không cường độ từ tính là sử dụng từ trường và vật liệu mục tiêu để lắng đọng vật liệu trên đế bằng cách phun.
Nguyên tắc làm việc cụ thể như sau:
1. Chuẩn bị môi trường chân không: Đặt chất nền được xử lý trong buồng chân không và sơ tán buồng chân không qua hệ thống ống xả để tạo thành môi trường chân không.
2
3. Tạo từ trường: Đặt một thiết bị từ trường gần vật liệu đích và áp dụng từ trường để tạo thành một vùng từ trường trên bề mặt của vật liệu đích.
4. Quá trình phóng xạ: Khi vật liệu đích đạt đến nhiệt độ bay hơi, các nguyên tử trên bề mặt vật liệu đích bắt đầu bay hơi và hình thành plasma dưới tác động của từ trường. Những plasma này sẽ tác động hoặc phun ra các nguyên tử hoặc phân tử của vật liệu đích.
5. Sự lắng đọng trên chất nền: Sau đó, các nguyên tử hoặc phân tử được phun ra được lắng đọng trên bề mặt của chất nền để tạo thành màng mong muốn.
Bằng cách kiểm soát các thông số quy trình của các đường phun, chẳng hạn như nhiệt độ của vật liệu đích, công suất phun, áp suất khí, v.v., độ dày, thành phần và cấu trúc của màng lắng đọng có thể được kiểm soát.
Nói chung, máy móc chân không phun Magnetron làm nóng và làm bay hơi vật liệu mục tiêu, và lắng đọng các nguyên tử hoặc phân tử phun ra trên đế dưới tác động của từ trường để đạt được sự chuẩn bị của màng mỏng.
| Vật liệu cơ chất | PET/PP 3 μm ~ 12μm |
| Chiều rộng 1350mm (chiều rộng lắng đọng hiệu quả: 1300mm) | |
| Tốc độ dòng | 2m/phút (ở mỗi bên 1μm x cả hai bên) |
| Năng lực sản xuất: khoảng 95.000m 2 /tháng | |
| Đặc điểm kỹ thuật của lớp phủ | Ca cực âm phun từ từ 32set 32set |
| Áp suất không khí hoạt động: 0,5 ~ 1,0pa | |
| Xử lý bề mặt | Lò sưởi hoặc lon bắn phá |
| Hiệu suất màng | Thành phần màng: Lớp bám dính (SP)/Lớp điện cực Cu (Evaporing)/Lớp bảo vệ (SP) |
| Phân phối độ dày: ± 5 % | |
| Điện trở màng: 25mΩ □ |

KOTA Technology Limited Company được thành lập vào năm 2012, với số vốn đã đăng ký là 10 triệu nhân dân tệ, là một doanh nghiệp công nghệ cao quốc gia. Có trụ sở tại Thượng Hải, Trung Quốc, công ty có một số công ty con thuộc sở hữu và nắm giữ ở Nantong, Yancheng và các nơi khác ở tỉnh Giang Tô, và đã thành lập các trung tâm R & D ở Trung Quốc và Nhật Bản để bố trí thị trường toàn cầu. Hiện tại, công ty đã phát triển thành một nhà sản xuất thiết bị thông minh năng lượng mới nổi tiếng trong nước, và là một doanh nghiệp trong lĩnh vực thiết bị lá đồng lithium trong nước. Đội ngũ kỹ thuật cốt lõi của công ty do ông Matsuda Mitsuya dẫn đầu tại Nagoya, Nhật Bản, tập trung vào sự phát triển và tích hợp hệ thống tự động hóa và thiết bị sản xuất cao cấp trong lĩnh vực thiết bị điện cơ chính xác cao. Thông qua việc giới thiệu các khái niệm thiết kế và công nghệ tiên tiến của Nhật Bản và nhập khẩu các bộ phận chính xác gốc từ Nhật Bản, các sản phẩm thiết bị khác nhau do công ty sản xuất đã trở thành điểm chuẩn công nghiệp.






Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp pin lithium và nhu cầu ngày càng tăng về vật liệu điện tử hiệu suất cao, Máy lá đồng lắng đọng điện đã trở thành một trong những th...
Xem thêmMáy đánh bóng và mài trống Cathod là gì? các Máy đánh bóng và mài trống Cathod là một thiết bị công nghiệp chuyên dụng được thiết kế để hoàn thiện bề mặt các bộ phận kim loại,...
Xem thêmMáy đánh bóng và mài trống Cathod là gì? MỘT Máy đánh bóng và mài trống Cathod là một thiết bị công nghiệp được thiết kế để đánh bóng, mài và hoàn thiện trống âm cực được sử dụng t...
Xem thêmMáy lá pin là gì? Định nghĩa và vai trò MỘT máy lá pin là thiết bị chuyên dụng dùng để sản xuất pin lithium-ion và các thiết bị lưu trữ năng lượng khác. ...
Xem thêmMỗi khi bạn mở khóa điện thoại thông minh, lái ô tô điện hoặc sử dụng máy tính xách tay để kết nối với thế giới, bạn đang vô tình dựa vào một công nghệ sẽ không tồn tại nếu không có nó. lá đồng...
Xem thêmTrong thế giới phát triển nhanh chóng của công nghệ hiện đại, Thiết bị lá đồng / nhôm composite đã trở thành tâm điểm của sự đổi mới, hiệu quả và sản xuất bền vững. Từ cung cấp năng l...
Xem thêm 1. Tạo môi trường chân không được kiểm soát
Bước đầu tiên trong quy trình phun từ tính là tạo ra một môi trường chân không được kiểm soát. Phòng chân không, không thể thiếu trong quá trình phủ, chứa chất nền và vật liệu đích. Khi chuẩn bị buồng, nó được sơ tán bằng cách sử dụng một hệ thống ống xả tinh vi để đạt được mức độ chân không cao. Máy hút bụi là cần thiết để loại bỏ các hạt không khí, bụi hoặc bất kỳ hình thức ô nhiễm nào có thể cản trở chất lượng của sự lắng đọng màng mỏng.
Tạo khoảng trống này cũng cho phép Roll Bacuum Roll to Roll System System Để hoạt động với điện trở tối thiểu, làm cho quá trình lắng đọng hiệu quả hơn. Nó ngăn chặn quá trình oxy hóa của vật liệu đích và đảm bảo rằng chỉ các nguyên tử được phun từ vật liệu đích được lắng đọng trên đế. Trong trường hợp của Công ty TNHH Công nghệ Hongtian, môi trường chân không thường dao động từ 0,5 đến 1,0 PA, phạm vi áp suất tối ưu cho các lớp kim loại như đồng hoặc nhôm.
Khi buồng nằm dưới chân không mong muốn, chất nền được căn chỉnh cẩn thận để đảm bảo lớp phủ đồng nhất. Các chất nền như PET (polyethylen terephthalate) hoặc PP (polypropylen), thường ở độ dày từ 3 μM đến 12 μm, được di chuyển liên tục trong quá trình phủ. Máy hút bụi đảm bảo rằng lớp phủ được áp dụng nhất quán trên toàn bộ diện tích bề mặt của chất nền. Hệ thống phun hai mặt chân không để cuộn hai mặt được thiết kế cho các hoạt động tốc độ cao, với tốc độ đường khoảng 2 mét mỗi phút. Điều này làm cho nó trở nên lý tưởng cho sản xuất quy mô lớn, với hệ thống công nghệ Hongtian, Ltd. có khả năng phủ lên khoảng 95.000 mét vuông mỗi tháng.
Bằng cách kiểm soát chân không, hệ thống giảm thiểu bất kỳ ô nhiễm tiềm năng nào và cung cấp một môi trường ổn định, sạch sẽ cho quá trình phun, đảm bảo rằng màng được phủ cuối cùng đáp ứng các thông số kỹ thuật cần thiết cho độ dày, tính đồng nhất và độ bám dính.
2.
Khi môi trường chân không được thiết lập, quá trình phun bắt đầu. Công ty TNHH Công nghệ Hongtian sử dụng cực âm cường độ quay vòng với 32 bộ nam châm, được đặt một cách chiến lược để đảm bảo sự lắng đọng vật liệu đồng đều ở cả hai mặt của chất nền. Quá trình phóng xạ bắt đầu khi một khí trơ, thường là argon, được đưa vào buồng chân không. Một điện áp cao được áp dụng cho vật liệu đích, khiến các ion khí bị ion hóa.
Các phân tử khí bị ion hóa sau đó va chạm với vật liệu đích, đánh bật các nguyên tử khỏi bề mặt mục tiêu. Các nguyên tử này sau đó được đẩy ra và di chuyển qua chân không đến chất nền, nơi chúng ngưng tụ và tạo thành một lớp phủ mỏng, đồng nhất. Quá trình này được kiểm soát cao, với Công ty TNHH Công nghệ Hongtian, đảm bảo rằng độ dày lớp phủ được giữ trong phạm vi dung sai chính xác là ± 5%, cho phép chất lượng nhất quán trong suốt quá trình sản xuất.
Một trong những ưu điểm chính của quy trình phun từ tính là khả năng phủ cả hai mặt của chất nền cùng một lúc. Việc phun hai mặt này làm tăng đáng kể hiệu quả và giảm thời gian sản xuất, đây là một lợi ích lớn cho các ngành công nghiệp đòi hỏi khối lượng lớn vật liệu tráng. Vật liệu mục tiêu được sử dụng trong phép thuật có thể thay đổi tùy thuộc vào ứng dụng; Ví dụ, đồng (Cu) thường được sử dụng làm vật liệu điện cực, trong khi các vật liệu khác có thể được sử dụng cho các lớp bảo vệ. Công ty TNHH Công nghệ Hongtian đảm bảo rằng các vật liệu mục tiêu được làm nóng đầy đủ, cung cấp các điều kiện tối ưu để phun.
Ngoài các lớp phủ kim loại tiêu chuẩn, hệ thống còn có sự lắng đọng của các màng đa lớp phức tạp, chẳng hạn như các lớp bám dính (SP), lớp điện cực (CU) và các lớp bảo vệ (SP). Cách tiếp cận lớp này tăng cường hiệu suất của lớp phủ, cải thiện độ bền, độ dẫn điện và khả năng chống ăn mòn. Công ty TNHH Xóa Magnetron đảm bảo rằng sự lắng đọng đồng đều và nhất quán trên cả hai mặt của chất nền, cho phép Công ty TNHH Công nghệ Hongtian sản xuất các vật liệu được phủ chất lượng cao đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của các ngành công nghiệp khác nhau.
3. Tối ưu hóa chất lượng và hiệu suất của lớp phủ
Đảm bảo chất lượng và hiệu suất của lớp phủ là một phần quan trọng của quá trình phun. Hệ thống được trang bị các tính năng được thiết kế để tăng cường độ bám dính và độ bền của các màng mỏng được áp dụng cho các chất nền. Sau khi vật liệu được phun lên chất nền, Công ty TNHH Công nghệ Hongtian sử dụng phương pháp xử lý bắn phá nóng hoặc ion để cải thiện độ bám dính giữa lớp phủ và chất nền. Bước này rất cần thiết để đảm bảo rằng lớp phủ vẫn còn nguyên vẹn trong quá trình xử lý hoặc ứng dụng tiếp theo, đặc biệt là trong các môi trường đòi hỏi.
Thành phần lớp phủ thường bao gồm một lớp bám dính (SP), một lớp điện cực dẫn (Cu) và một lớp bảo vệ (SP). Sự kết hợp của các lớp này cung cấp một số lợi ích, bao gồm sức mạnh cơ học được cải thiện, độ dẫn điện và khả năng chống mài mòn và ăn mòn. Lớp bảo vệ đảm bảo rằng lớp phủ có khả năng chống lại các yếu tố môi trường như độ ẩm, bụi và dao động nhiệt độ, đặc biệt quan trọng trong các ngành công nghiệp như thiết bị điện tử và ô tô.
Công ty TNHH Công nghệ Hongtian đặt độ nhấn mạnh cao vào việc kiểm soát tính đồng nhất và độ dày của lớp phủ. Với dung sai phân phối độ dày màng là ± 5%, hệ thống đảm bảo rằng mọi chất nền được xử lý dưới cuộn chân không của nó để cuộn hệ thống phun hai mặt nhận được một lớp phủ nhất quán. Độ chính xác này rất cần thiết cho các ứng dụng trong đó tính đồng nhất và độ tin cậy là rất quan trọng, chẳng hạn như trong việc sản xuất chất bán dẫn, tấm pin mặt trời hoặc hoàn thiện trang trí trong các bộ phận ô tô.
Điện trở của lớp phủ cuối cùng thường là khoảng 25 MΩ □, một giá trị đảm bảo điện trở thấp và độ dẫn điện tuyệt vời, điều này rất cần thiết cho các ứng dụng trong hệ thống lưu trữ điện tử và năng lượng. Mức độ kiểm soát cao đối với quá trình phủ và khả năng sản xuất số lượng lớn vật liệu chất lượng cao khiến công nghệ công nghệ Hongtian, Công ty TNHH trở thành một lựa chọn lý tưởng cho các ngành công nghiệp đòi hỏi độ chính xác, độ tin cậy và hiệu quả.